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本发明公开了一种开闭自由且能实现高气密性的真空阀门装置及其制造方法，该装置由手柄、压紧螺母、阀芯、压环、上密封件、阀体、档位螺母、防松螺钉、下密封件和真空接头组成。所发明装置设置于制冷机冷端的真空室和负压排气的真空泵之间，控制真空室内死真空...
该专利属于中国科学院上海技术物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海技术物理研究所授权不得商用。

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