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燃料电池内部湿度-热流密度联测传感器制造技术
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文档序号:11057313
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本发明公开的燃料电池内部湿度-热流密度联测传感器,属于燃料电池内部参数测量领域,其湿度-热流密度联测传感器由八层薄膜构成,采用真空蒸发镀膜方法制作:首层为二氧化硅绝缘层,第二层为上电极铝镀层,第三层为高分子聚合物感湿介质层,第四层为下电极铝...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。
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