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本发明的燃料电池内部温度-热流密度联测传感器，是采用真空蒸发镀膜方法在燃料电池流场板上蒸镀五层薄膜构成，第一层为二氧化硅绝缘层，第二层为铜镀层，第三层为镍镀层，第四层为二氧化硅保护层，第五层为二氧化硅厚热阻层，其引线也采用真空蒸发镀膜方法制...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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