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一种真空沉积设备，包括用于在基板上施加涂层的阴极电弧源。阴极电弧源包括用于产生磁场的聚焦磁性源、包含膜形成材料的电弧阴极和阳极。聚焦磁性源安置在电弧阴极和基板之间。在阴极蒸发表面上产生的电弧斑被磁场线保持在磁场线垂直于阴极表面的地方。...
该专利属于帕拉迪特公司所有，仅供学习研究参考，未经过帕拉迪特公司授权不得商用。

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