下载用于柔性薄膜电子器件的水氧阻隔膜及其封装工艺的技术资料

文档序号:11049096

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一种用于柔性薄膜电子器件的水氧阻隔膜及采用该水氧阻隔膜作为电子器件封装的工艺,水氧阻隔膜由多层用于阻隔水、氧分子的阻隔层和多层用于结构去耦并吸收水、氧分子的吸收层交错层叠构成复合薄膜,阻隔层和吸收层均为无机薄膜;复合薄膜包括与器件接触的最下...
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