下载抑制输出非线性开启的隧穿场效应晶体管及其制备方法的技术资料

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一种抑制输出非线性开启的隧穿场效应晶体管,包括隧穿源区,沟道区,漏区,半导体衬底区,位于沟道区上方的栅介质层,以及位于栅介质层之上的控制栅;所述的沟道区位于隧穿源区上方且位置与隧穿源区部分重叠,在沟道区与隧穿源区界面处形成隧穿结;所述漏区与...
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