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本实用新型提供一种VCB核相小车，包括：主框架，所述主框架具有与一高压盘体的静触头保护盖板相对应的两个角；两组滚轮，所述两组滚轮分别平行设置于所述主框架的底部；第一挡柱，所述第一挡柱垂直设置于所述主框架上，且位于一个所述角上；第二挡柱，所述...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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