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使用调制波形的MEMS参数识别制造技术
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下载使用调制波形的MEMS参数识别的技术资料
文档序号:11027002
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本发明涉及使用调制波形的MEMS参数识别。传感器系统包括微机电系统(MEMS)传感器(10)、控制电路(20)、信号评估电路(50)、数模转换器(30)、信号滤波器(40,80)、放大器(60)、解调电路(70)和存储器(22)。所述系统(...
该专利属于飞思卡尔半导体公司所有,仅供学习研究参考,未经过飞思卡尔半导体公司授权不得商用。
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