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韩国赛橌纳米技术株式会社
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具备振动装置的晶锭倾翻装置制造方法及图纸
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下载具备振动装置的晶锭倾翻装置的技术资料
文档序号:11026787
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本发明涉及具备振动装置的晶锭倾翻装置,涉及在通过将由线切割装置实施切断的晶锭以能够倾翻的方式固定,减少晶锭与金刚石线的摩擦热,使切断面积最小,由此能够增大切断速度,减少切断时间,并且由晶锭的切断所形成的晶片的切断面均匀的具备倾翻功能的晶锭倾...
该专利属于韩国赛橌纳米技术株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过韩国赛橌纳米技术株式会社授权不得商用。
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