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本发明公开了一种采用连续式多腔室磁控溅射技术制备耐高温黑色硼硅玻璃的方法。该方法是先将玻璃在镀膜前进行清洗干净，然后通过传送装置送入连续式真空镀膜机的预抽室，随后顺序进入配有大型钛铝磁控靶和硅靶的多个溅射镀膜室。镀膜室内通入氩和氮混合气体，...
该专利属于宁波海燕家电玻璃技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波海燕家电玻璃技术有限公司授权不得商用。

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