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本发明实施例公开了一种制造黑硅材料的方法，包括：制备硅衬底材料；在氮气和六氟化硫的混合气氛中用激光脉冲照射硅衬底材料；在经过了激光脉冲照射之后的硅衬底材料表面沉积钝化层；对沉积了钝化层的硅衬底材料进行高温退火处理。本发明的实施例的方法中，在...
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