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一种用于制备图形衬底的一体化湿法腐蚀设备，该设备包括：控制单元；图形衬底制备单元，图形衬底制备单元主要分为：高、低温酸腐模组，图形掩膜制备模组和清洗模组。本发明引入了进行了特殊设计的BOE腐蚀槽，首先从功能上实现了图形掩膜图形化的制备功能，...
该专利属于北京大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京大学授权不得商用。

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