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沉积装置和使用该沉积装置制造显示装置的方法制造方法及图纸
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下载沉积装置和使用该沉积装置制造显示装置的方法的技术资料
文档序号:11022930
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本申请涉及沉积装置和使用该沉积装置制造显示装置的方法。该沉积装置可以包括第一基底安装构件和可以与第一基底安装构件重叠的第二基底安装构件。沉积装置可以进一步包括设置在位于第一基底安装构件和第二基底安装构件之间的空间中的溅射单元。溅射单元可以具...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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