下载一种金刚线切割多晶硅片用的冷却液的技术资料

文档序号:11018252

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种金刚线切割多晶硅片用的冷却液,所述冷却液包括水和冷却助剂,所述冷却液还包括硬度大于硅的磨料。在金刚线切割多晶硅片时,金刚线不断对多晶硅片进行磨削切割,冷却液中的磨料通过高速运动的金刚线带动对多晶硅片表面进行磨削,从而在多晶硅...
该专利属于江西赛维LDK太阳能高科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江西赛维LDK太阳能高科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。