下载一种LCOS微显示器件液晶盒结构及其制造方法的技术资料

文档序号:11009215

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本发明涉及一种LCOS微显示器件液晶盒结构及其制造方法,所述的液晶盒结构呈层状结构,包括上电极层、液晶材料层、纳米柱以及硅基衬底层,其上电极层为石墨烯膜平板玻璃,纳米柱采用氧化锌或者二氧化钛纳米柱;其制造方法包括以下步骤:A)制备硅基衬底层...
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