下载旋转工作台的吸嘴升降驱动机构的技术资料

文档序号:11005650

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旋转工作台的吸嘴升降驱动机构,涉及半导体元件生产领域。包括电机支架,电机支架上安装有电机,电机支架的下端面固定有竖向设置的滑轨座,滑轨座上固定有竖向的滑轨,滑轨上设置有滑块,滑块上固定有顶杆滑块座,顶杆滑块座的下端固定有用于连接吸嘴装置的顶...
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