下载大面积硅旁路二极管的制备方法的技术资料

文档序号:11005640

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种大面积硅旁路二极管的制备方法,包括在衬底一面进行硼扩散形成硼扩散层、衬底另一面制出氧化环,在氧化环内衬底的裸露面上进行磷扩散形成磷扩散层;磷扩散层上制出上电极、硼扩散层上制出下电极,其特点是:在衬底和氧化环之间的衬底上扩散出一...
该专利属于天津恒电空间电源有限公司;中国电子科技集团公司第十八研究所所有,仅供学习研究参考,未经过天津恒电空间电源有限公司;中国电子科技集团公司第十八研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。