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公开了一种泡生法蓝宝石长晶设备的冷却水压力闭环控制系统，该装置包括压力传感器、电子流量阀、PLC控制器，其中，压力传感器，电子流量阀与PLC控制器通过信号线连接和通信，压力传感器安装在冷却出水口位置，电子流量阀安装在冷却进水口。出水压力变化...
该专利属于刘瑜所有，仅供学习研究参考，未经过刘瑜授权不得商用。

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