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本实用新型提供一种晶舟，包括：若干支柱和位于所述若干支柱内侧的若干支撑部：所述支撑部包括第一支撑块和第二支撑块，所述第二支撑块设置于所述第一支撑块的上表面，且小于所述第一支撑块。可以在不影响晶圆制程均匀度、不减少晶舟放置晶圆数量的前提下，避...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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