下载台面结构的10G PIN光电探测器芯片的技术资料

文档序号:10987275

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本实用新型公开一种台面结构的10G PIN光电探测器芯片,包括:衬底、形成于衬底上的缓冲层、形成于缓冲层上的吸收层、形成于吸收层上的顶层、形成于顶层上的有源区、形成于顶层上的接触层、形成于顶层上的第一复合钝化层、形成于衬底、缓冲层、吸收层、...
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