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温度受控的集成压电谐振器制造技术
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下载温度受控的集成压电谐振器的技术资料
文档序号:10982050
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一种集成谐振器设备(100),包括压电谐振器(120、124、128);耦合到压电谐振器的声学布拉格反射器(104);以及衬底(102),所述声学布拉格反射器设置在衬底(102)上。该设备还包括覆盖压电谐振器的有源加热器层。有源加热器层(1...
该专利属于德克萨斯仪器股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过德克萨斯仪器股份有限公司授权不得商用。
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