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基于超材料的肖特基型太赫兹多谱信号探测器制造技术
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下载基于超材料的肖特基型太赫兹多谱信号探测器的技术资料
文档序号:10980193
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本实用新型公开了一种基于超材料的肖特基型太赫兹多谱信号探测器,包括自下而上依次设置的衬底层、N型砷化镓层、二氧化硅层与超材料层、欧姆电极和肖特基电极;其中超材料层为具有周期性微纳米结构的金属开环共振单元阵列,金属开环共振单元阵列包含了多种图...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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