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超精密KDP晶体机床的进给机构制造技术
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文档序号:10978046
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本发明提供一种超精密KDP晶体机床的进给机构,包括底座、设置在所述底座上方的溜板、设置在所述底座的供所述溜板滑移的液体静压导轨、以及用以驱动所述溜板沿所述静压导轨滑移的直线电机,在所述溜板运行方向的两侧分别安装一套锁紧装置,所述锁紧装置由安...
该专利属于北京工研精机股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京工研精机股份有限公司授权不得商用。
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