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本发明涉及一种用于微膜泵芯片基本功能单元膜动微阀的驱动装置。由正压组件、负压气体源、通道、正压切换组件、芯片托盘、密封圈、弹性密封帽、传动组件组成。在芯片和托盘间有负压气密空间。芯片托盘上有通道对应微膜泵芯片上膜片位置，并在顶端有弹性密封帽...
该专利属于中国检验检疫科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国检验检疫科学研究院授权不得商用。

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