下载流体控制用阀组件的技术资料

文档序号:10967657

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本发明的流体控制用阀组件包括:主阀体,其包括第一流路、第二流路以及第三流路,上述第一流路安装于高压容器的入口,填充用原料气体通过上述第一流路,供给用原料气体通过上述第二流路,上述第三流路与第一流路及第二流路相连接;手动阀,其安装于上述主阀体...
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