下载一种提高剥离工艺成品率的方法的技术资料

文档序号:10965458

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本发明实施例公开了一种提高剥离工艺成品率的方法,包括在基底上涂覆光刻胶;对涂覆在所述基底上的所述光刻胶进行曝光,在所述光刻胶上显影出负斜角的图形;在显影后所述基底上保留的所述光刻胶和显影出负斜角的图形后暴露出的所述基底的表面淀积金属层;在所...
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