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一种高效叠层薄膜太阳电池及其制备方法技术
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文档序号:10960483
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本发明属于高效硅基薄膜太阳电池领域,具体为一种高效叠层薄膜太阳电池及其制备方法。本专利先采用磁控溅射镀膜系统,在衬底上溅射制备TCO膜,对TCO薄膜经清洗和激光光刻。然后采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统在TCO薄膜上进行硅基薄...
该专利属于云南师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过云南师范大学授权不得商用。
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