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本发明公开了一种六氟化硫电气设备内部故障诊断方法，首先获取电气设备内部的杂质气体含量，通过气体中HF含量和氟离子含量判断设备处于注意状态或异常状态；同时通过二氧化硫含量多少来判断设备是否存在高温过热故障；本发明通过测量六氟化硫电气设备中杂质...该专利属于国网重庆市电力公司电力科学研究院;国家电网公司所有，仅供学习研究参考，未经过国网重庆市电力公司电力科学研究院;国家电网公司授权不得商用。