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一种电感耦合等离子体质谱仪真空阀门制造技术
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文档序号:10950897
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本实用新型公开了电感耦合等离子体质谱仪真空阀门,包括:基座,所述基座具有待密封封口,且具有第一腔室及第二腔室;具有前后伸缩部件的动力源装置;滑动系统;封闭装置等;本实用新型采用开合结构,通过开合来实现静态和动态真空,并且开启时,进气量很小,...
该专利属于江苏天瑞仪器股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏天瑞仪器股份有限公司授权不得商用。
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