下载多光束光学厚膜监测仪的技术资料

文档序号:10947567

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本发明涉及一种多光束光学厚膜监测仪,它属于一种光学镀膜实时监控设备。本发明主要是解决现有的光学膜厚仪存在的监控点少、监控精度低且监控效率差的技术问题。本发明采用的技术方案是:多光束光学厚膜监测仪,它包括单色仪、光电探测器、信号放大器、控制计...
该专利属于杰莱特(苏州)精密仪器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杰莱特(苏州)精密仪器有限公司授权不得商用。

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