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传感器芯片、传感器盒及检测装置制造方法及图纸
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文档序号:10931213
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本发明提供了能够将传导型表面等离子体共振与金属纳米体的局域表面等离子体共振确实地结合的传感器芯片、传感器盒及检测装置。传感器芯片(11)具备金属晶格(16)。金属晶格(16)具有沿第一方向FD延伸的多个金属长条片(17)。金属长条片(17)...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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