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本发明的基片集成波导毫米波滤波器，包括覆盖于矩形基片上下表面的超导膜和贯穿基片的过孔，过孔沉积金属使上下表面的超导膜导通。其中超导膜在金属基片上激光沉积形成，并且金属基片沉积有超导膜的一面面向矩形基片表面固定。超导膜和金属过孔组合形成至少两...
该专利属于成都顺为超导科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都顺为超导科技股份有限公司授权不得商用。

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