下载一种晶片研磨机中环形防护筒的安装结构的技术资料

文档序号:10922051

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本实用新型公开了一种可拆卸、并且安装定位非常方便的晶片研磨机中环形防护筒的安装结构,包括:下磨座和至少一根导向定位杆,该环形防护筒包括:一对半圆弧形板,这一对半圆弧形板通过一对锁扣机构锁紧在一起;该对半圆弧形板的相应端面上分别设置有圆弧形定...
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