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本发明公开了一种利用等离子去除锂电池电极片铝屑的处理工艺及装置，该处理工艺包括：a、将分切好的锂电池电极片竖直放置在一密封的刻蚀腔体内的转盘上；b、通过抽气装置将刻蚀腔体抽至真空状态；c、通过气体进口向刻蚀腔体内通入刻蚀气体，由射频源将通入...
该专利属于深圳市大成精密设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市大成精密设备有限公司授权不得商用。

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