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基于高密度电极阵列的高空间分辨超声探测器制造技术
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下载基于高密度电极阵列的高空间分辨超声探测器的技术资料
文档序号:10908639
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基于高密度电极阵列的高空间分辨超声探测器,包括匹配层,阵列结构压电材料薄片,绝缘胶层,硅像素芯片,芯片bonding电路板;所述阵列结构压电材料薄片由单面电极及阵列结构的压电材料小单元构成,匹配层粘附在单面电极上,单面电极接地,阵列结构的压...
该专利属于华中师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中师范大学授权不得商用。
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