下载用于双面镀膜的石墨舟片及石墨舟的技术资料

文档序号:10906690

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本发明提供了一种用于双面镀膜的石墨舟片,所述石墨舟片设置有镂空硅片位;所述镂空硅片位边缘设置有硅片卡件。本发明还提供了一种用于双模镀膜的石墨舟,包括多片上述技术方案所述的石墨舟片。本发明提供的石墨舟包括的石墨片上设置有镂空的硅片位,通过镂空...
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