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一种在基材表面制备DLC薄膜的方法，它涉及一种DLC薄膜材料的制备方法。本发明目的是要解决现有方法制备的纯DLC薄膜具有较大的残余应力，且表面能高、表现出亲水性的问题。方法：一、表面处理；二、离子刻蚀清洗；三、制备金属过渡层和金属氮化物过渡...
该专利属于佳木斯大学所有，仅供学习研究参考，未经过佳木斯大学授权不得商用。

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