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硅纳米传感阵列巨压阻系数测量系统及四点弯曲施力装置制造方法及图纸
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文档序号:10903468
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本实用新型是关于一种硅纳米传感阵列巨压阻系数测量系统及四点弯曲施力装置,该系统由四点弯曲施力装置、微小阻值检测装置和微小应变检测装置三部分构成。其中四点弯曲施力装置给硅纳米线传感阵列芯片施加均匀轴向应力(应变),该装置包括船型底座、底座滑轨...
该专利属于南京信息工程大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京信息工程大学授权不得商用。
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