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制造太阳能电池中的CIGS吸收层的装置及方法制造方法及图纸
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下载制造太阳能电池中的CIGS吸收层的装置及方法的技术资料
文档序号:10902083
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本发明提供了一种制造太阳能电池中的CIGS吸收层的装置和方法,该方法包括在太阳能电池衬底的底电极的表面上方形成多个前体层。形成步骤包括:利用溅射源或蒸发源在该表面的至少一部分上方沉积包含镓和铟中的至少一种、硒和铜的第一层,第一层具有第一铜浓...
该专利属于台积太阳能股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台积太阳能股份有限公司授权不得商用。
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