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环形带状可回转激光掩模在线式切割或刻印系统技术方案
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文档序号:10897436
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本发明公开了一种环形带状可回转激光掩模在线式切割或刻印系统,包括:激光部,提供连续的、输出能量可调节的激光水源;掩模,可高速回转循环转动,提供所需图案和切割或刻印的图案尺寸;光路组件,将掩模上图案信息切割或刻印至待加工材料;驱动和传动部,提...
该专利属于汤振华所有,仅供学习研究参考,未经过汤振华授权不得商用。
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