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网格状MEMS神经微探针及其制备方法技术
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文档序号:10892866
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一种网格状MEMS神经微探针及其制备方法,包括基座、针头和针杆;针头通过针杆连接到基座上形成微探针;针头、针杆和基座内部均有硅层和绝缘层;硅层设置在绝缘层的下方;针头的表面上设置有若干个探测电极;基座表面上设置有若干个凹槽;微探针内部还包括...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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