下载光学反射元件的技术资料

文档序号:10880090

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光学反射元件具备:固定部,其具有彼此处于相反侧的一对边;一对第一振动部,其具有分别与固定部的一对边连接的一端;一对连接部,其分别与一对第一振动部的另一端连接;可动框,其经由一对连接部以能够转动的方式支承于一对第一振动部的另一端;一对第二振动...
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