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本发明涉及一种用于对细长的、圆柱形的构件进行等离子涂覆的装置和方法。所述装置具有：至少一个处理腔(1)；细长的第一存储腔(2)和细长的第二存储腔(3)，存储腔没有闭锁装置地与处理腔(1)连接；细长的第一传送腔(4)，第一传送腔与第一存储腔(...
该专利属于洛尔等离子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过洛尔等离子技术有限公司授权不得商用。

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