下载液体喷射装置及其制造方法的技术资料

文档序号:10857145

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本发明提供一种液体喷射装置及其制造方法,包括:基板表面形成弹性膜;所述弹性膜上开设通透至所述基板表面的缝隙;通过所述缝隙在所述基板上刻蚀形成凹槽;其中,所述弹性膜悬设在所述凹槽上,所述弹性膜在外力作用下能产生弹性变形。本发明技术方案,通过在...
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