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本实用新型公开了一种用于等离子体光源的微波谐振腔，包括有圆形陶瓷底座、圆形陶瓷盖盘，圆形陶瓷底座、圆形陶瓷盖盘上分别附着金属导电薄层，圆形陶瓷底座上连接有方形立柱，圆形陶瓷盖盘中开有供方形立柱插入的中空区域。本实用新型提供一种用于等离子体光...
该专利属于单家芳;刘甫坤所有，仅供学习研究参考，未经过单家芳;刘甫坤授权不得商用。

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