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本发明提供了一种碳化硅化学气相沉积设备，包括：化学气相沉积室；与所述化学气相沉积室相通的惰性气体进气管道；与所述化学气相沉积室相通的工艺气体进气管道，所述工艺气体进气管道包括：与所述化学气相沉积室相通的混合装置，分别与所述混合装置相连通的第...
该专利属于湖南顶立科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南顶立科技有限公司授权不得商用。

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