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本发明属于清洗设备，具体涉及的是一种自动晶片覆晶载板清洗机。本清洗机中化学隔离室、第一风切干燥室和第二风切干燥室中对应的胶辊设有沿覆晶载板移动方向设置的扫风槽，扫风槽用于增大覆晶载板被扫风的面积，扫风槽为沿胶辊径向设置的环形凹槽，胶辊上设有...
该专利属于深圳市凯尔迪光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市凯尔迪光电科技有限公司授权不得商用。

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