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一种基于柔性连接的双质量解耦硅微陀螺仪制造技术
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文档序号:10821601
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本发明公开了一种基于柔性连接的双质量解耦硅微陀螺仪,包括设有电信号引出线的基座和置于基座上的微陀螺机械结构层;微陀螺机械结构层包括第一子结构、第二子结构和子结构连接装置,第一子结构和第二子结构通过子结构连接装置连接;本发明为减小温度和应力对...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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