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用于处理载体的方法和电子部件技术
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文档序号:10821214
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公开了一种用于处理载体的方法和电子部件。在各个实施例中,提供一种处理载体的方法。所述用于处理载体的方法包括:在载体上形成第一催化金属层;在第一催化金属层上形成源层;在源层上形成第二催化金属层,其中第二催化金属层的厚度大于第一催化金属层的厚度...
该专利属于英飞凌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技股份有限公司授权不得商用。
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