下载一种圆柱形硅棒夹具的技术资料

文档序号:10820092

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本发明提供了一种圆柱形硅棒夹具,旨在解决现有圆柱形硅棒夹具在夹持硅棒时生产的硅片次品较多的问题,包括固定装置、定位装置;固定装置包括设有四个导向柱的下压块,每个导向柱的上部设有螺纹;固定装置还包括下模块、上模块、上压块、四个压紧螺母;上模块...
该专利属于浙江辉弘光电能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江辉弘光电能源有限公司授权不得商用。

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